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中國傳感谷內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)場景。（資料圖片）

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安徽海車神馭無人裝備科技有限公司生產(chǎn)現(xiàn)場。本報記者 孫言梅 攝

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位于蚌埠市高新區(qū)的智能制造產(chǎn)業(yè)園項目，目前1—4號廠房已基本完成，處于全面收尾階段。本報通訊員 秦 奮 攝

一部5G手機內(nèi)置的MEMS（微機電系統(tǒng)）數(shù)量已超過20顆，主打“智能化”的新能源車，MEMS的數(shù)量更是高達上百顆。如果把集成電路芯片比喻成“大腦”，傳感器就是智能設備感知世界的“五官”，應用場景無處不在。

隨著2021年我省首次提出打造“中國傳感谷”、加速推進傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展，蚌埠智能傳感產(chǎn)業(yè)初露崢嶸。近年來，該市聚焦聚力智能傳感產(chǎn)業(yè)，以晶圓加工能力為核心競爭力，吸引下游企業(yè)入駐，推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)軟硬協(xié)同、集聚發(fā)展，著力打造自主可控芯體最多、種類最全、產(chǎn)值超千億的智能傳感產(chǎn)業(yè)集群。

破題缺“芯” 蚌埠MEMS晶圓上線

近日，記者走進位于蚌埠經(jīng)開區(qū)的中國傳感谷核心企業(yè)——安徽華鑫微納集成電路有限公司，數(shù)十張辦公桌整齊、細密地排布在大廳里，幾十名工作人員緊盯電腦。

“企業(yè)的大量設備正在進場，設備供應商在和我們的工程師、專家核對工程與設備細節(jié)?！比A鑫微納業(yè)務發(fā)展部部長徐海濤介紹，企業(yè)的194臺套設備，到本月底將有80%進場。計劃于明年4月完成串線，6月試產(chǎn)，三季度量產(chǎn)，四季度達產(chǎn)。

該企業(yè)的時間表、任務量和工程進度，不僅事關園區(qū)周邊企業(yè)，還牽動了長三角傳感產(chǎn)業(yè)格局，更影響著國內(nèi)MEMS芯片產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

“數(shù)據(jù)顯示，去年全球8英寸MEMS晶圓供貨量達到400萬片，國內(nèi)消耗近200萬片，而去年國內(nèi)產(chǎn)能約9萬片。”徐海濤對記者說，華鑫微納達產(chǎn)后預計月產(chǎn)8英寸晶圓1萬片，到2027年將達到月產(chǎn)3萬片。

MEMS芯片是MEMS傳感器中技術和價值含量最高的部分，其與大眾熟知的集成電路芯片如CPU、GPU等有很多相似處，都追求在微觀尺度內(nèi)，以半導體材料為襯底，單片制成晶圓后切割成多片芯片。在晶圓制造過程中所進行的光刻、薄膜沉積、刻蝕、摻雜等單項工藝也大體一致。

蚌埠經(jīng)開區(qū)管委會副主任董思敏介紹，華鑫微納將是蚌埠智能傳感器產(chǎn)業(yè)的制造基礎，助力解決國內(nèi)MEMS芯片“卡脖子”問題。作為國內(nèi)領先的8英寸MEMS智能傳感器晶圓代工企業(yè)，華鑫微納將對外提供開放式、定制化MEMS晶圓代工服務。這意味著，智能傳感器的核心部件，繁復多樣的MEMS芯片將在蚌埠生產(chǎn)，向我省乃至全國的智能傳感器企業(yè)供貨，為整個產(chǎn)業(yè)鏈安全提供有力支撐。

集聚成勢 迸發(fā)發(fā)展強動能

12月19日，中國傳感谷內(nèi)，安徽海車神馭無人裝備科技有限公司的工作人員正在進行無人巡邏車的測試工作?！斑@是我們的主打產(chǎn)品之一，通過激光雷達傳感器、攝像頭等裝置精準感知周圍環(huán)境，監(jiān)測安全狀況，目前已在社區(qū)、醫(yī)院、學校等領域廣泛應用。”公司相關負責人周永健說。

海車神馭是上海海神機器人科技有限公司在蚌埠投建的智能制造基地，也是中國傳感谷C區(qū)首批入駐并投產(chǎn)的企業(yè)。除了無人巡邏車，該企業(yè)還生產(chǎn)無人快遞車、無人清掃車等，產(chǎn)品的核心競爭力在于算法、控制器和傳感器等軟硬件。

“蚌埠是全國三大傳感器基地之一，也是安徽唯一、全國不多的同時擁有集成電路和MEMS晶圓生產(chǎn)線的城市，聚集眾多傳感器領域上下游企業(yè)，因此企業(yè)選擇落戶在此。今年4月投產(chǎn)，10月就入規(guī)了。”周永健說。

企業(yè)的高質量發(fā)展，離不開政府支持。今年初，海車神馭進入試生產(chǎn)階段，因生產(chǎn)技術要求較高，企業(yè)面臨一線技工短缺的難題。蚌埠經(jīng)開區(qū)走訪了解情況后，及時組織開展招聘活動，積極對接本地職業(yè)院校，招聘20多名工人進廠，確保了企業(yè)試生產(chǎn)的正常進行。

“在蚌埠經(jīng)開區(qū)相關部門的持續(xù)幫助下，目前車間已有70多名工人，保障了5條生產(chǎn)線正常運轉，今年將完成產(chǎn)值3000萬元。明年我們會進一步擴大產(chǎn)能，開拓更廣闊的發(fā)展空間?！敝苡澜≌f。

目前，蚌埠市已培育北方微電子、芯動聯(lián)科、希磁科技、有家硅光、依愛消防、雙環(huán)電子等一批行業(yè)領軍企業(yè)。隨著一個個企業(yè)加快集聚，蚌埠智能傳感產(chǎn)業(yè)集群乘風而起。數(shù)據(jù)顯示，全市智能傳感產(chǎn)業(yè)相關企業(yè)已有200余家，經(jīng)濟規(guī)?？偭砍賰|元。

服務升級 持續(xù)優(yōu)化產(chǎn)業(yè)生態(tài)

傳感器產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品品種多、企業(yè)規(guī)模小、應用領域分散、制造工藝復雜。蚌埠為何將其確定為重點打造的六大產(chǎn)業(yè)集群之一？

有行業(yè)研究數(shù)據(jù)顯示，消費電子產(chǎn)品的傳感化、自動駕駛、工業(yè)4.0和人工智能的興起，導致全球未來長期大量的MEMS器件需求。預計2029年，全球MEMS晶圓產(chǎn)量將增長到500萬片。

蚌埠的目標，是切分傳感器產(chǎn)業(yè)中未來需求旺盛、技術門檻高、利潤豐厚的智能傳感器市場?！耙呀?jīng)形成了多條細分賽道，各有龍頭企業(yè)牽引?！倍济艚榻B，以芯動聯(lián)科為代表的慣性傳感器主要應用于消費電子，以希磁科技為代表的磁電流傳感器裝備在新能源汽車等電控場景。

蚌埠市還成立智能傳感產(chǎn)業(yè)專班，由市領導牽頭調度，定期協(xié)調解決園區(qū)建設發(fā)展中的各類問題。為了應對智能傳感企業(yè)相對規(guī)模小、投入不足，目前已落地運行總規(guī)模約26億元的4只基金，引育匯電能源等10余個項目落地，目前正陸續(xù)組建總規(guī)模約20億元的5只基金。

為了解決企業(yè)生產(chǎn)的共性需求，蚌埠經(jīng)開區(qū)創(chuàng)新性地由園區(qū)代建包括表面處理中心、大宗氣站等，企業(yè)“拎包入住”即可共享這些生產(chǎn)服務。園區(qū)還建成微電子機械系統(tǒng)（MEMS）國家地方聯(lián)合工程實驗室等近20個創(chuàng)新平臺，其中省級以上創(chuàng)新平臺9個，與大院大所、著名高校廣泛合作，為園區(qū)企業(yè)提供全方位的科研技術支撐。

蚌埠智能傳感產(chǎn)業(yè)從北方微電子研究院一條6英寸MEMS中試線出發(fā)，篳路藍縷、久久為功，沿著“一個科研院所帶動一個產(chǎn)業(yè)發(fā)展”的思路一路走來，目前已成為自主可控芯體最多、傳感器種類最全，集研發(fā)設計、晶圓制造、封裝測試、終端應用為一體的全產(chǎn)業(yè)鏈聚集區(qū)。

（本報記者 強 飛 孫言梅）